Unsere Geräte für die Oberflächencharakterisierung und Fehleranalyse

Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM) gekoppelt an eine energiedispersive Röntgenmikrosonde (EDX)

Hoch- und Niedervakuum-Betrieb für Proben Leiter und Isolator – Detektor für Sekundärelektronen mit Wechselwirkung (chemischer und topographischer Kontrast) – Halbquantitative chemische Analyse EDX (Punktanalyse, Kartographie, Bor-Detektion)