--- type: "WebPage" title: "Mikrostrukturanalyse mittels REM-EBSD" description: "Sie möchten eine Mikrostrukturanalyse mittels REM-EBSD durchführen lassen Warum die Mikrostruktur von Werkstoffen analysieren? Zunächst einmal ist die Kenntnis der Mikrostruktur der Oberfläche eines Werkstoffs ein Schlüsselfaktor bei der Entwicklung eines neuen Produkts oder bei der Beseitigung neuer Anomalien.Tatsächlich ist..." resource: "https://filab.fr/de/unsere-leistungen/unsere-analyseleistungen/labor-fur-oberflachenanalyse-und-oberflachencharakterisierung/mikrostrukturanalyse-mittels-rem-ebsd/" tags: ["DE", "pll_679898cabdd62", "Anaïs DECAUX"] timestamp: "2026-06-11T06:33:54Z" published: "2026-06-10T14:06:01Z" language: "de" author: "Laure Durieux" --- # Mikrostrukturanalyse mittels REM-EBSD ## Sie möchten eine Mikrostrukturanalyse mittels REM-EBSD durchführen lassen ### Warum die Mikrostruktur von Werkstoffen analysieren? Zunächst einmal ist die Kenntnis der Mikrostruktur der Oberfläche eines Werkstoffs ein Schlüsselfaktor bei der Entwicklung eines neuen Produkts oder bei der Beseitigung neuer Anomalien. Tatsächlich ist bei Problemen mit [**Verschleiß**](https://filab.fr/de/unsere-leistungen/unsere-analyseleistungen/labor-fur-oberflachenanalyse-und-oberflachencharakterisierung/labor-fur-oberflachenverschleisanalyse.md) (Erosion/Abrasion, Adhäsion, Korrosion, Ermüdung) oder [**Bruch**](https://filab.fr/de/unsere-leistungen/unsere-expertendienstleistungen/analyse-und-untersuchung-von-ausfallen-im-labor/labor-fur-bruchanalyse.md) die Kenntnis der Mikrostruktur der betreffenden [Oberfläche](https://filab.fr/de/unsere-leistungen/unsere-analyseleistungen/labor-fur-oberflachenanalyse-und-oberflachencharakterisierung.md) entscheidend. Die Kenntnis der Mikrostruktur der Oberfläche eines Werkstoffs liefert außerdem eine Reihe von Informationen über seine **physikalisch-chemischen[Eigenschaften](https://filab.fr/de/unsere-leistungen/unsere-analyseleistungen/filab-labor-fur-chemische-analysen/labor-fur-physikalisch-chemische-analysen.md)**, die in einem **Produktionsprozess** oder bei einer **regulatorischen Analyse** unerlässlich sind. So greift jedes Unternehmen, das mit einer oder mehreren dieser Fragestellungen konfrontiert ist, auf Kompetenzen in der Charakterisierung der Oberflächenmikrostruktur zurück. ### Was ist die Elektronenrückstreubeugung-Analyse mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM-EBSD)? Die **Rasterelektronenmikroskopie (REM)** in Kombination mit der Technik der **Electron Backscatter Diffraction (EBSD)** ist eine fortschrittliche Methode zur [**Analyse der Mikrostruktur**](https://filab.fr/de/unsere-leistungen/unsere-expertendienstleistungen/analyse-und-untersuchung-von-ausfallen-im-labor/labor-fur-die-analyse-der-materialmikrostruktur.md)**kristalliner** Werkstoffe, insbesondere von Metallen. Durch die Verbindung der hochauflösenden Bildgebung des REM mit der detaillierten Analyse der Kristallstruktur mittels EBSD bietet diese Technik ein tiefgehendes Verständnis der Werkstoffeigenschaften. Tatsächlich ergänzen all diese mikrostrukturellen Analysen in der Regel vorläufige REM-Untersuchungen (Erscheinungsbild, chemische Zusammensetzung). Die Kombination [REM-EBSD](https://filab.fr/de/unsere-technischen-moglichkeiten/labor-fur-rem-ebsd-analysen.md) ermöglicht es, wesentliche Informationen wie Kristallorientierung, Korngrenzen, kristalline Phasen und strukturelle Verformungen sichtbar zu machen. Diese Daten sind entscheidend, um den Einfluss der Mikrostruktur auf die [mechanischen](https://filab.fr/de/unsere-leistungen/unsere-expertendienstleistungen/mechanische-prufungen-im-labor.md) und physikalischen Eigenschaften der Werkstoffe zu untersuchen. ### Durch REM-EBSD durchgeführte Mikrostrukturanalysen Analyse der Kristallorientierung Identifizierung kristalliner Phasen Erkennung kristalliner Defekte Kartierung der Korngrenzen Analyse kristallographischer Texturen Charakterisierung polykristalliner Werkstoffe ### Wichtige Punkte der EBSD-Analyse: Kristallorientierung und Kornstruktur EBSD liefert Daten im Mikro- bis sogar Nanometerbereich zur Kristalltextur und ermöglicht so eine präzise Analyse der Mikrostruktur. Texturkartierung Diese Technik macht sichtbar, wie die Körner eines Werkstoffs zueinander orientiert sind, und hilft so, ihre mechanischen Eigenschaften zu verstehen. Identifizierung kristalliner Phasen Die EBSD identifiziert und lokalisiert die verschiedenen in einer Probe vorhandenen Phasen – ein entscheidender Schritt für mehrphasige Werkstoffe. Erkennung von Verformungen und Strukturfehlern Die EBSD macht Versetzungen, Kristallverformungen und andere Defekte sichtbar und liefert damit wesentliche Informationen für die Werkstofftechnik und die Materialforschung. ## Unsere Lösungen: die Mikrostruktur von Werkstoffen mittels REM-EBSD charakterisieren ### Warum FILAB für die Mikrostrukturanalyse mittels REM-EBSD wählen? Au sein du laboratoire FILAB, un département entier est dédié à l’expertise des matériaux, regroupant doctorants et ingénieurs spécialisés possédant un savoir-faire hautement qualifié. Ce niveau d’expertise est renforcé par un parc analytique de pointe de **5200 m²**, équipé notamment de 2** [MEB-EDX](https://filab.fr/de/unsere-technischen-moglichkeiten/labor-fur-meb-edx-analysen.md)** et de **1** [**MEB-EBSD**](https://filab.fr/de/unsere-technischen-moglichkeiten/labor-fur-rem-ebsd-analysen.md), qui permettent de fournir des analyses fiables et rapides à des tarifs compétitifs. Nos**MEB** particulièrement puissants et performants répondent aussi bien à des diagnostics rapides (pollution, inclusion…) qu’à des expertises plus complexes nécessitant une analyse approfondie. ![analyse microstructure](https://filab.fr/wp-content/uploads/2025/01/MEB-EBSD-2--845x1024.jpg) ## unsere Analysetechniken mittels REM [Rasterelektronenmikroskopie FEG (REM FEG)](https://filab.fr/de/unsere-technischen-moglichkeiten/hochauflosendes-rem-analyselabor-rem-feg.md) [Rasterelektronenmikroskopie (REM STEM)](https://filab.fr/nos-moyens-techniques/laboratoire-d-analyses-par-microscopie-electronique-a-balayage-meb-edx/analyse-meb-stem-laboratoire/) [Rasterelektronenmikroskopie EDS (REM-EDS)](https://filab.fr/nos-moyens-techniques/laboratoire-analyse-meb-eds/) [Rasterelektronenmikroskopie und Kryo-REM (Kryo-REM)](https://filab.fr/de/unsere-technischen-moglichkeiten/labor-fur-meb-edx-analysen/labor-fur-kryo-rem-analysen.md) ### Die Schritte einer mikrostrukturellen Analyse mittels REM-EBSD #### 1 - Probenvorbereitung Die Vorbereitung ist ein entscheidender Schritt, um eine zuverlässige und präzise mikrostrukturelle Analyse zu gewährleisten: - **Reinigung** : Entfernung von Verunreinigungen (Staub, Öl usw.) mithilfe von Lösungsmitteln oder geeigneten Verfahren. - **Mechanisches Polieren** : Die Probe wird mit Schleifscheiben abnehmender Körnung poliert, um eine glatte und ebene Oberfläche zu erhalten. - **Ionenpolieren oder Ionenabtrag (Cross Polisher)** : Wenn ultrafeine Oberflächen erforderlich sind, wird ein Ionenstrahl-Polieren (Ion Milling) durchgeführt, um die beim mechanischen Polieren entstandenen Artefakte zu entfernen. Dies ist besonders nützlich für spröde oder heterogene Werkstoffe. - **Beschichtung (falls erforderlich)** : Nichtleitende Proben werden mit einer dünnen Metallschicht (Gold, Kohlenstoff) beschichtet, um elektrostatische Aufladungen während der Analyse zu vermeiden. #### 2 - Einbringen und Positionieren im REM - Die Probe wird auf einem speziellen, mit dem Mikroskop kompatiblen Träger (Stub) montiert. - Einbringen in die Vakuumkammer, um die Streuung der Sekundärelektronen zu vermeiden. - Korrekte Ausrichtung der Probe mit einer typischen Neigung von **70° für die EBSD-Analyse**. #### 3 - Aufnahme von REM-Bildern - **Einstellungen** : Anpassung von Beschleunigungsspannung, Strahlstrom und Arbeitsabstand zur Optimierung der Auflösung. - **Erstbeobachtung** : Aufnahme hochauflösender Bilder zur Beobachtung von Morphologie, Einschlüssen und Defekten. #### 4 - EBSD-Analyse - **Ausrichtung** : Neigung der Probe, um die Erfassung der Beugungsmuster zu maximieren. - **Musteraufnahme** : Der EBSD-Detektor erfasst die durch die Beugung rückgestreuter Elektronen erzeugten Muster. - **Kristallographische Kartierung** : - Orientierung der Körner und Identifizierung der kristallinen Phasen. - Erfassung von Korngrenzen und Kartierung der Texturen. - Analyse von Strukturverformungen oder kristallinen Defekten. - **Datenverarbeitung** : Analyse der Muster mithilfe kristallographischer Datenbanken. ### Wichtige Punkte der Vorbereitung **Mechanisches Polieren** zur Beseitigung der anfänglichen Unebenheiten. **Ionenabtrag oder Cross Polisher** für ein ultrapräsises Finish, ideal für EBSD-Analysen. **Geeignete Reinigung und Beschichtung** für eine optimale Oberfläche für die mikroskopische Beobachtung.