Una película orgánica residual puede modificar la energía superficial y comprometer la adherencia de un tratamiento antirreflectante.
Trazas iónicas (cloruros, sulfatos, fluoruros,...) pueden iniciar una corrosión bajo capa fina.
Una contaminación volátil puede generar fogging tras la integración.
En láser de alta energía, una heterogeneidad local puede convertirse en un punto de calentamiento.