Eine MEB-EDX-Analyse ist eine mikroskopische Technik zur Bildgebung und Analyse von Elementen und chemischer Zusammensetzung. Diese Technik kombiniert die Rasterelektronenmikroskopie (MEB) mit der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX). Die MEB-EDX-Analyse ermöglicht es, die Oberflächenstruktur und die chemische Zusammensetzung von Materialien bei hohen Vergrößerungen zu beobachten. Die Kombination dieser beiden Techniken erlaubt eine detaillierte Untersuchung einzelner Partikel und der Oberflächenmerkmale des Materials, deren Größe bis zu 1 Nanometer betragen kann. Die aus dieser Analyse gewonnenen analytischen Informationen können wertvolle Hinweise auf die Eigenschaften und Merkmale der betreffenden Probe liefern. Darüber hinaus können sie zur Identifizierung von Verunreinigungen oder anderen Fremdstoffen verwendet werden, die in Spuren vorhanden sein können. Die MEB-EDX-Analyse wird häufig in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, darunter die Materialwissenschaft und die forensische Analyse. Dank dieser fortschrittlichen Technik können Forscher präzise Informationen über die chemische Zusammensetzung von Proben im sehr kleinen Maßstab gewinnen.
Der Prozess der MEB-EDX-Analyse beginnt mit dem Einbringen der Probe in die Kammer eines Elektronenmikroskops. Die von der Probe emittierten Elektronen durchlaufen anschließend einen Energiefilter, um sekundäre Röntgenstrahlen zu erzeugen, die vom EDX-Detektor erfasst werden. Die Daten zu den energiedispersiven Röntgenstrahlen werden anschließend analysiert, um die Zusammensetzung und Konzentration der in der Probe vorhandenen Elemente zu bestimmen. Diese Analyse kann präzise Ergebnisse zur Partikelgrößenverteilung, zu Kristallstrukturen, Oxidationszuständen und weiteren Merkmalen einzelner Partikel liefern.