MEB: uno strumento all’avanguardia per la caratterizzazione dei materiali
Basata sul principio dell’interazione elettrone-materia, la Microscopia Elettronica a Scansione (MEB o SEM, Scanning Electron Microscopy) è una tecnica di caratterizzazione all’avanguardia che consente di produrre immagini ad alta risoluzione della superficie di un campione. L’utilizzo, da parte dei microscopi elettronici, di elettroni associati a lunghezze d’onda più corte rispetto a quelle dei fotoni della luce visibile offre una risoluzione di gran lunga superiore rispetto ai microscopi ottici tradizionali.
Osservazione tramite MEB
Se la tecnologia di emissione termoionica degli elettroni impiegata nell’ambito della Microscopia Elettronica a Scansione è stata ampiamente utilizzata per molti anni (filamento di tungsteno o catodo in esaboruro di lantanio), l’alternativa dei cannoni a emissione di campo (FEG in inglese, Field Emission Gun) oggi disponibile consente di raggiungere prestazioni migliori, necessarie per applicazioni analitiche esigenti e per l’altissima risoluzione. In questi cannoni, gli elettroni vengono estratti per effetto tunnel da un catodo metallico a punta molto fine sottoposto a una tensione elettrica. La brillantezza così ottenuta è molto più elevata di quella delle sorgenti termoioniche. Pertanto, l’osservazione della superficie dei campioni a bassa tensione con una sorgente a emissione FEG riduce la penetrazione del fascio e migliora così la risoluzione.
L’osservazione di sottili strutture superficiali a tensione molto bassa e con grandissimi ingrandimenti consente quindi agli utenti di rivelare i minimi dettagli della superficie. Questi nuovi strumenti di tipo MEB-FEG permettono così di raggiungere ingrandimenti dell’ordine di 1000000 mantenendo al contempo la possibilità di lavorare in modalità Low Vacuum per la caratterizzazione di campioni non conduttivi.
L’arrivo sulla nostra piattaforma tecnica del MEB-FEG consente oggi a Filab di ampliare il proprio campo di competenza e di raggiungere la caratterizzazione di estrema superficie, come l’identificazione della natura chimica o il controllo dei trattamenti di tipo strati sottili, la ricerca di contaminazioni, l’analisi di guasti, le problematiche di distacco o di scarsa adesione, …
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