Microscope Electronique à Balayage (MEB-FEG) couplée à une microsonde X dispersive en énergie (EDX)
Mode Haut-vide ou vide partiel pour échantillon conducteur et isolant – Détecteur d’électrons secondaires et rétrodiffusés (contraste topographique et chimique) – Analyse chimique semi-quantitative EDX (mode pointé, cartographie, détection à partir du Bore)