Caractérisation de surface et Analyse de défaillances en Laboratoire

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MEB FEG EDX

Microscope Electronique à Balayage Environnemental (ESEM) couplée à une microsonde X dispersive en énergie (EDX)

Mode High-Vac et Low-Vac pour échantillon conducteur et isolant - Détecteur d'électrons secondaires et rétrodiffusés (contraste topographique et chimique) - Analyse chimique semi-quantitative EDX (mode pointé, cartographie, détection à partir du Bore)

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Microscope optique

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