Exemples
Pollutions invisibles
Ces contaminations ne correspondent pas nécessairement à des particules détectables au microscope optique. Il peut s’agir de films organiques nanométriques, de résidus ioniques ou encore de pollutions issues des procédés d’usinage, de manipulation, de nettoyage ou de stockage.
À l’œil nu, la surface paraît conforme. Pourtant, son état chimique peut être profondément modifié. Même extrêmement fine, cette altération suffit à perturber un système optique sensible.
Un film organique résiduel peut modifier l’énergie de surface et compromettre l’adhérence d’un traitement antireflet.
Des traces ioniques (chlorures, sulfates, fluorures,...) peuvent initier une corrosion sous couche mince.
Une contamination volatile peut générer du fogging après intégration.
En laser haute énergie, une hétérogénéité locale peut devenir un point d’échauffement.