Utilisant le principe de l’interaction électron-matière, la Microscopie Electronique à Balayage (MEB ou SEM pour Scanning Electron Microscopy) est une technique de caractérisation de pointe permettant de produire des images en haute résolution de la surface d’un échantillon.
L’alternative des canons à émission de champ (FEG en anglais pour Field Emission Gun) proposée aujourd’hui permet d’atteindre de meilleures performances nécessaires aux applications analytiques exigeantes et à la très haute résolution.
Quels sont les avantages de la technique MEB haute résolution - MEB-FEG ?
L’observation de la surface d’échantillons en basse tension avec une source d’émission FEG réduit la pénétration du faisceau et améliore ainsi la résolution.
L’observation de fines structures de surface à très basse tension et très fort grandissement permet donc aux utilisateurs de révéler les moindres détails de surface. Cette technique permet ainsi d’atteindre des grandissements de l’ordre de 1000000.
Le laboratoire FILAB accompagne ls industriels dans l'analyse MEB haute résolution (MEB-FEG)
Nos prestations d'analyses meb haute résolution : meb-feg