Une analyse MEB-EDX est une technique de microscopie utilisée pour l'imagerie et l'analyse des éléments et de la composition chimique. Cette technique combine la microscopie électronique à balayage (MEB) et la spectroscopie X à dispersion d'énergie (EDX). L'analyse MEB-EDX permet d'observer la structure de la surface et la composition chimique des matériaux à des grossissements élevés. La combinaison de ces deux techniques permet une étude détaillée des particules individuelles et des caractéristiques de la surface du matériau, dont la taille peut atteindre 1 nanomètre. Les informations analytiques obtenues à partir de cette analyse peuvent fournir des indications précieuses sur les propriétés et les caractéristiques de l'échantillon en question. En outre, elles peuvent être utilisées pour identifier des contaminants ou d'autres impuretés qui peuvent être présents à l'état de traces. L'analyse MEB-EDX est souvent utilisée dans une grande variété d'applications, y compris la science des matériaux et l'analyse médico-légale. Grâce à cette technique avancée, les chercheurs peuvent obtenir des informations précises sur la composition chimique des échantillons à très petite échelle.
Le processus d'analyse MEB-EDX commence par le placement de l'échantillon dans la chambre d'un microscope électronique. Les électrons émis par l'échantillon passent ensuite à travers un filtre énergétique pour produire des rayons X secondaires qui sont détectés par le détecteur EDX. Les données relatives aux rayons X dispersés en énergie sont ensuite analysées pour déterminer la composition et la concentration des éléments présents dans l'échantillon. Cette analyse peut fournir des résultats précis sur la distribution des tailles de particules, les structures cristallines, les états d'oxydation et d'autres caractéristiques des particules individuelles.