En tant qu'industriel vous souhaitez réaliser une analyse MEB-EBSD ?
Qu'est-ce que la Microscopie Electronique à Balayage EBSD (MEB-EBSD) ?
La technologie Microscopie Electronique à Balayage MEB-EDX est une technique d’analyse microscopique en laboratoire utilisant un canon à effet de champ (FEG en anglais pour Field Emission Gun) qui produit des images en très haute résolution de la surface d’un échantillon (grandissement de l’ordre de *1000000).
L’EBSD (Electron BackScatter) est un mode d’imagerie en diffraction d’éléctrons retrodiffusés pouvant être associé au MEB. Cette technique est utilisée pour la caractérisation des microstructures et des propriétés cristallographiques (comme la taille du grain, les déformations, la texture…) d’un échantillon. Cette particularité permet une analyse qualitative de l’homogénéité chimique d’un échantillon.
Le laboratoire d’analyses FILAB est aujourd’hui l’un des premiers laboratoires français à s’équiper du MEB-EDX-EBSD modèle GEMINI SEM…de marque Zeiss. Cet outil d’analyse microscopique MEB est particulièrement puissant et performant pour des diagnostics rapides (pollution, inclusion…) ou des expertises plus complexes.
La technique d'analyse MEB-EBSD
La technique d’analyse par MEB-EBSD repose sur l’utilisation d’un faisceau d’électrons incidents de quelques dizaines de kilovolts balayant la surface de l’échantillon, qui réémet alors tout un spectre de particules et de rayonnements : électrons secondaires, électrons rétrodiffusés, électrons Auger ou encore les rayons X. Le faisceau d’électrons est produit dans un « canon à électrons » puis dirigé à travers un ensemble de lentilles électromagnétiques et de bobines de balayage formant la colonne MEB.
Quels éléments peut fournir le MEB-EBSD ?
Le MEB-EBSD est généralement utilisé pour étudier la morphologie 3D avec une résolution nanométrique de la surface d’un objet ou matériau. La composition chimique et élémentaire peut également être obtenue par microanalyse aux rayons X.
Son utilisation permet de fournir différentes images :
Quels éléments peut fournir le MEB-EBSD ?
Le MEB-EBSD est généralement utilisé pour étudier la morphologie 3D avec une résolution nanométrique de la surface d’un objet ou matériau. La composition chimique et élémentaire peut également être obtenue par microanalyse aux rayons X.
Son utilisation permet de fournir différentes images :
Imagerie topographique qui permet une visualisation topographique de l'échantillon par détection d'électrons secondaires.
Imagerie chimique qui permet la visualisation de la composition chimique par contraste des électrons
Microanalyse X qui permet l'analyse élémentaire de l'échantillon
L'analyse par MEB-ESBD, une spécialité du laboratoire FILAB
Exemples d'applications d'analyses par MEB-EBSD, spécifiques à votre domaine d'activité :